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1,3-雙(甲氧基甲基)-4,5-二甲氧基-2-咪唑啉酮
CAS No.:
4356-60-9
分子式:
C9H18N2O5
分子量:
234.24962
備注:
光致產(chǎn)酸劑
用于KrF,ArF
光刻膠產(chǎn)品
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