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惠然微電子亮相無錫半導(dǎo)體展會(huì) 呈現(xiàn)最新量檢測(cè)技術(shù)成果
2024-09-25
  2024年9月25日,備受矚目的第十二屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會(huì)(CSEAC) 在無錫太湖國(guó)際博覽中心盛大開幕?;萑晃㈦娮蛹夹g(shù)(無錫)有限公司,一家以電子光學(xué)技術(shù)為核心,專注于電子束科研儀器及半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備的領(lǐng)先企業(yè),攜其最新技術(shù)成果亮相展會(huì)(展位號(hào):A1館T30)?;萑晃㈦娮右宰吭降募夹g(shù)實(shí)力和創(chuàng)新成就,充分展現(xiàn)了其在電子光學(xué)領(lǐng)域的技術(shù)積累,迅速成為業(yè)界的焦點(diǎn),并獲得了政府及集成電路產(chǎn)業(yè)界的廣泛關(guān)注。
  在此次產(chǎn)業(yè)盛會(huì)中,惠然微電子展出了全自主正向研發(fā)的半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備(CD-SEM)、缺陷檢測(cè)設(shè)備(EBI)以及場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(SEM)在內(nèi)的一系列高端產(chǎn)品。這些產(chǎn)品在半導(dǎo)體、新材料、新能源、生物醫(yī)藥、航空航天及泛工業(yè)等多個(gè)關(guān)鍵領(lǐng)域中發(fā)揮著量檢測(cè)及實(shí)驗(yàn)分析的作用,不僅標(biāo)志著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域獲得突破,也彰顯了惠然微電子在國(guó)產(chǎn)化道路上的堅(jiān)定步伐和顯著成就。
  惠然微電子在攻克“卡脖子工程”技術(shù)及設(shè)備中,匯聚國(guó)際頂尖的技術(shù)團(tuán)隊(duì),具備豐富的電子光學(xué)系統(tǒng)(EOS)核心的設(shè)計(jì)及制造能力,勇?lián)苿?dòng)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化、提升產(chǎn)業(yè)鏈自主可控度的責(zé)任,為國(guó)家的科技進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)升級(jí)貢獻(xiàn)一份力量。
  攜手共進(jìn) 共創(chuàng)輝煌
  2024年9月25日,惠然微電子隆重亮相本屆2024集成電路(無錫)創(chuàng)新發(fā)展大會(huì),創(chuàng)始人楊仁貴先生攜半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備作為重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目與無錫市政府完成簽約,持續(xù)放大公司在集成電路核心技術(shù)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程的推動(dòng)力量。

  開幕式之后江蘇省工業(yè)和信息化廳黨組書記、廳長(zhǎng)朱愛勛同志,江蘇省無錫市委副書記、市長(zhǎng)趙建軍同志等領(lǐng)導(dǎo)一行蒞臨惠然微電子展臺(tái),受到了公司的熱情接待。朱廳長(zhǎng)、趙市長(zhǎng)等領(lǐng)導(dǎo)詳細(xì)了解了惠然微電子最新的技術(shù)成果與設(shè)備,對(duì)其展現(xiàn)出的以正向研發(fā)為核心驅(qū)動(dòng)力的掃描電鏡和半導(dǎo)體電子束量測(cè)設(shè)備技術(shù)給予了高度評(píng)價(jià)?;萑晃㈦娮討{借其在該領(lǐng)域的卓越持續(xù)創(chuàng)新能力和深厚的技術(shù)儲(chǔ)備,不僅成功實(shí)現(xiàn)了從0到1的技術(shù)突破并順利轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品,更在此基礎(chǔ)上積累了豐富的從1到N的商業(yè)化轉(zhuǎn)化經(jīng)驗(yàn),將技術(shù)成果有效轉(zhuǎn)化為市場(chǎng)價(jià)值,這一顯著成就贏得了領(lǐng)導(dǎo)們的廣泛贊賞。

  核心展示,誠(chéng)摯分享
  CD-SEM關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備:細(xì)微之處見真章

  惠然微電子研發(fā)的“賦”系列CD-SEM設(shè)備,利用先進(jìn)的電子束掃描成像技術(shù),對(duì)光刻膠線條寬度進(jìn)行關(guān)鍵尺寸的在線量測(cè),并于設(shè)計(jì)尺寸實(shí)時(shí)比對(duì)避免偏離,實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵工藝參數(shù)的監(jiān)控,是提高芯片制造良率、維持產(chǎn)品質(zhì)量一致性的關(guān)鍵設(shè)備。其中6/8 inch CD-SEM可兼容 6/8 寸晶圓,適用于第三代半導(dǎo)體芯片的量測(cè)。

  EBI電子束檢測(cè)設(shè)備:高效助力,質(zhì)量為先
  惠然微電子“比”系列EBI設(shè)備,通過高效的電子束掃描顯微成像技術(shù)和智能算法,能夠快速準(zhǔn)確地檢測(cè)出晶圓上的電性缺陷和物理缺陷,是提升芯片制造良率的關(guān)鍵設(shè)備。其中,eIB 3001適合高分辨率檢測(cè),而eIB 3101則更適合高速檢測(cè)需求。

  SEM系列掃描電鏡:多元應(yīng)用,精準(zhǔn)洞察
  惠然微電子SEM系列掃描電鏡,如FE-SEM“風(fēng)”系列F4000、F6000,不僅覆蓋從實(shí)驗(yàn)室到工業(yè)生產(chǎn)的多種需求,還提供高分辨率的圖像與數(shù)據(jù),幫助用戶深入了解材料特性與制造工藝。此外,惠然微電子在SEM領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn),產(chǎn)品系列豐富,成功發(fā)布了國(guó)內(nèi)首臺(tái)拉曼聯(lián)用電鏡一體機(jī),并通過自研技術(shù)創(chuàng)新在備受全球關(guān)注的新能源領(lǐng)域材料研究與迭代方面具備全方位解決方案。

  展會(huì)期間,惠然微電子的精英技術(shù)團(tuán)隊(duì)將親臨現(xiàn)場(chǎng),為參觀者就公司產(chǎn)品特性、技術(shù)細(xì)節(jié)及行業(yè)應(yīng)用前景進(jìn)行深入解讀與分享。這支匯聚了國(guó)際頂尖專家的隊(duì)伍,精通電子光學(xué)、電控、系統(tǒng)和算法等多個(gè)關(guān)鍵領(lǐng)域,憑借超過二十年的尖端研發(fā)經(jīng)驗(yàn)和豐富的商業(yè)化實(shí)踐,正不斷推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品升級(jí)。黨的二十屆三中全會(huì)指出:要健全強(qiáng)化集成電路等重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展的體制機(jī)制,全鏈條推進(jìn)技術(shù)攻關(guān)成果應(yīng)用?;萑晃㈦娮訉⑸钊胴瀼厝珪?huì)精神,同時(shí)我們也堅(jiān)信,國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)的突飛猛進(jìn)和不懈創(chuàng)新將不斷加速國(guó)產(chǎn)化替代的進(jìn)程。公司也將持續(xù)推進(jìn)電子光學(xué)核心技術(shù)的革新,堅(jiān)守“技術(shù)領(lǐng)先、服務(wù)至上、提升良率、為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供卓越支持”的使命,與國(guó)家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略發(fā)展同步前行。

  隨著展會(huì)的深入,現(xiàn)場(chǎng)將舉辦技術(shù)研討會(huì)并提供一對(duì)一交流環(huán)節(jié),歡迎各界人士就技術(shù)挑戰(zhàn)、市場(chǎng)動(dòng)態(tài)等關(guān)鍵議題進(jìn)行深入對(duì)話和探討,共同挖掘半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)潛力,探索未來無限可能。
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